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豆传国
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
杨恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴燕红
中国科学院上海微系统与信息技术...
戈肖鸿
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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吴燕红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
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戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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