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甘甫烷
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
盛振
中国科学院上海微系统与信息技术...
仇超
中国科学院上海微系统与信息技术...
武爱民
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
李杨
中国科学院上海微系统与信息技术...
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盛振
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 硅基 干涉仪 激光照射 电位测量
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仇超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 干涉仪 激光照射 模式转换器 电位测量
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武爱民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅基 硅 波导 光子晶体 锗
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
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李杨
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单光子源 超导 单光子探测器 发光光谱 量子点
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李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 衬底 弹性梁 电磁波
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刘翔
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 波导 覆盖层 光耦合器 静电驱动
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李浩
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单光子探测器 超导 纳米线 自对准 高反膜
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杨志峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光子晶体 晶格 SOI 硅刻蚀 各向异性腐蚀
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林旭林
供职机构:复旦大学
研究主题:光子晶体 晶格 硅刻蚀 传输功率 波导
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