2025年2月26日
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徐德衍
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49
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H指数:7
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家高技术研究发展计划
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
沈卫星
高功率激光物理国家实验室
林尊琪
中国科学院上海光学精密机械研究...
戴名奎
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
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沈卫星
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:透镜 光学元件 干涉仪 光学 激光光斑
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林尊琪
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光技术 激光 高功率激光 光纤激光器 激光系统
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戴名奎
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:表面疵病 光学元件 疵病 衍射光强 衍射光强分布
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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郑朝思
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:半导体激光器 热效应 激光器 光束 分划板
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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王润文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
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陈淑琴
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:锁模 染料 锁模激光器 被动锁模 脉冲列
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凌鸣逸
供职机构:中国科学院
研究主题:脉冲激光 衍射 能量计 体吸收 处理技术
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鄢雨
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:侧面泵浦 分光 均匀照明 平行平板 投影光刻
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