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王晓光
作品数:
6
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
齐虹
中国电子科技集团公司第四十九研...
李玉玲
中国电子科技集团公司第四十九研...
张岩
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尹延昭
中国电子科技集团公司第四十九研...
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中国电子科技集团公司第四十九研...
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李玉玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:BCB 苯并环丁烯 键合 加速度计 毛细作用
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齐虹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
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张岩
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿法腐蚀 KOH TMAH 薄膜电阻 流量传感器
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王成杨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:湿敏元件 湿敏材料 传感器 表面态 硅
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王明伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 衬底材料 衬底 MEMS加速度传感器 封装
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刘智辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
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王亚彬
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:湿敏元件 湿敏材料 传感器 表面态 硅
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郑丽
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿敏元件 湿敏材料 感湿机理 衬底材料 衬底
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丁文波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:TOC 吸收式 总有机碳 加速度传感器 结构参数
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寇文兵
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 集成化 单晶硅 传感器设计 压力传感器
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