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韩国威

作品数：40 被引量：45H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
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宁瑾
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 牺牲层 MEMS 4H-SIC 谐振器
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司朝伟
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 锚点 压电层 MEMS 谐振器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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赵永梅
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓东
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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杨健
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：MEMS陀螺仪 压电材料 压电 旋涂 检测电极
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张萌
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 寄生电容 压电层 盖板 检测电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晓东
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：脉冲发生器 相位噪声 变增益 I/Q 复数滤波器
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童鑫
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：磁强计 传感器误差 控制功能 无线 切换键
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钟卫威
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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