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竺建英
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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吴立新
中国科学院上海冶金研究所上海微...
何焕南
中国科学院上海冶金研究所上海微...
黎修祺
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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黎修祺
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氧化铝 气体分析 排气 湿度计 硒
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吴立新
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气体分析 气阻 二氧化碳 E-3 E-1
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何焕南
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气体分析 气阻 二氧化碳 CO 分离气体
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