您的位置： 专家智库 > >

王效东

作品数：13 被引量：36H指数：4
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划中国科学院重点实验室基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信电气工程化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 21个电子电信
  • 17个电气工程
  • 17个理学
  • 14个一般工业技术
  • 13个机械工程
  • 11个自动化与计算...
  • 9个金属学及工艺
  • 7个化学工程
  • 6个医药卫生
  • 4个航空宇航科学...
  • 3个经济管理
  • 3个生物学
  • 2个冶金工程
  • 2个建筑科学
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个交通运输工程

主题

  • 16个刻蚀
  • 13个微电子
  • 13个微机械
  • 13个金属
  • 11个微机械器件
  • 11个离子刻蚀
  • 10个金刚石薄膜
  • 9个硅薄膜
  • 7个氮化
  • 7个氧化硅
  • 7个金刚石
  • 7个静电马达
  • 6个氮化硅
  • 6个电容
  • 6个电子器件
  • 6个多晶
  • 6个多晶硅
  • 5个单晶
  • 5个悬臂
  • 4个氮化硅薄膜

机构

  • 20个中国科学院上...
  • 14个中国科学院
  • 8个复旦大学
  • 7个华东师范大学
  • 3个浙江大学
  • 2个上海交通大学
  • 2个同济大学
  • 1个吉林大学
  • 1个宝钢集团有限...
  • 1个青岛科技大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西北工业大学
  • 1个河北工业大学
  • 1个天津大学
  • 1个上海大学
  • 1个中山大学
  • 1个武汉理工大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个四川省机械研...
  • 1个交通大学

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 11个上海市科学技...
  • 9个国家重点基础...
  • 6个国家高技术研...
  • 6个国家攀登计划
  • 6个上海市科学技...
  • 6个中国科学院重...
  • 5个国家重点实验...
  • 4个国家教育部博...
  • 3个上海市科委纳...
  • 3个上海市自然科...
  • 3个“九五”国家...
  • 2个德国洪堡基金
  • 2个高等学校骨干...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个中国科学院科...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个上海市教育委...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个The Ro...

传媒

  • 13个功能材料与器...
  • 12个物理学报
  • 10个Journa...
  • 9个传感技术学报
  • 8个科学通报
  • 7个仪表技术与传...
  • 7个应用科学学报
  • 7个第四届全国微...
  • 6个电子学报
  • 6个中国科学（A...
  • 6个无机材料学报
  • 6个功能材料
  • 5个稀有金属材料...
  • 5个传感器技术
  • 5个金属学报
  • 5个材料导报
  • 5个中国科学（E...
  • 4个半导体技术
  • 4个材料研究学报
  • 4个微细加工技术

地区

  • 21个上海市
  • 1个北京市
共 22 条 记 录，以下是 1-10
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛敏耀
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 MPCVD 光学窗口 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解健芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐圣明
供职机构：中国科学院
研究主题：扫描电镜 扫描电子显微镜 反应离子刻蚀 硅传感器 成像技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王添平
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 光学窗口 镍 反应离子刻蚀 静电马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡杰
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题：陶瓷 微波 微波烧结 微波焊接 陶瓷材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0