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张大成

作品数：246 被引量：425H指数：10
供职机构：北京大学更多>>
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共 172 条 记 录，以下是 1-10
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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王玮
供职机构：北京大学
研究主题：单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 芯片
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杨芳
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
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田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗葵
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘鹏
供职机构：北京大学
研究主题：艺术博物馆 前驱物 衬底 气相外延 MEMS器件
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何军
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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王颖
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丹淇
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 牺牲层 成品率 单片集成 刻蚀
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