2025年1月23日
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冯春阳
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9
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供职机构:
复旦大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
曾璇
复旦大学
陶俊
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严昌浩
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周海
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严昌浩
供职机构:复旦大学
研究主题:可制造性 模拟电路 抛光工艺 化学机械抛光 贝叶斯
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陶俊
供职机构:复旦大学
研究主题:化学机械抛光 抛光工艺 铜互连 人工神经网络 网格
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曾璇
供职机构:复旦大学
研究主题:模拟电路 集成电路设计 集成电路 存储管理单元 可制造性
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周海
供职机构:复旦大学
研究主题:可制造性 抛光工艺 图案 存储管理单元 半导体制造
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