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孙晓辉
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中北大学信息与通信工程学院电子工程系
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相关领域:
电子电信
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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郑宏宇
供职机构:河北半导体研究所
研究主题:MEMS封装 工艺技术 吸附剂 润滑剂
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徐永青
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 微机械 可变光衰减器 微电子机械 MEMS
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孙芬芬
供职机构:南京理工大学
研究主题:刻蚀 晶圆级封装 晶圆 微机电系统 热应力分析
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冯鹏洲
供职机构:南京理工大学机械工程学院
研究主题:微机电系统 引信 MEMS ANSYS 信用
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相关人物
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胥超
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:电极 微电子机械系统 划片 圆片级封装 共晶
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吝海峰
供职机构:河北半导体研究所
研究主题:微机电系统 MEMS封装 工艺技术 吸附剂 润滑剂
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孙瑞花
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS封装 工艺技术 吸附剂 润滑剂 高可靠
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杨志
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:谐振器 硅基 MEMS 衬底 腔体
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