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孙承龙
作品数:
5
被引量:16
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
王渭源
中国科学院上海微系统与信息技术...
戈肖鸿
中国科学院上海冶金研究所上海微...
姜建东
复旦大学
王德宁
中国科学院上海微系统与信息技术...
杜根娣
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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姜建东
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 反应离子深刻蚀 蚀刻 反应离子刻蚀 RIE
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李生强
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:温度传感器 传感器 磁控溅射 测量电路 航天
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王德宁
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:多触点 传感器 超导膜 HIGFETS GAALAS/GAAS
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陈思琴
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:反应离子刻蚀 空间电场 刻蚀 硅传感器 微电子技术
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杜根娣
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:聚酰亚胺 汞 压电晶体 半导体工艺 反应离子刻蚀
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丁青
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 氧 碳 铂 TCR
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郭方敏
供职机构:华东师范大学
研究主题:读出电路 光电探测器 量子效应 微光 读出
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胡素英
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:X射线双晶衍射 X射线 半导体工艺 反应离子刻蚀 聚酰亚胺膜
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戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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