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吴嘉丽
作品数:
38
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H指数:6
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
谭刚
中国工程物理研究院电子工程研究...
陈光焱
中国工程物理研究院电子工程研究...
王超
中国工程物理研究院电子工程研究...
李仁锋
中国工程物理研究院电子工程研究...
郑英彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
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谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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李仁锋
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
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王超
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:热电池 惯性开关 阴极材料 脉冲激光沉积 微机电系统
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陈光焱
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 MEMS G值 开关
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郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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唐海林
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:太赫兹 微陀螺 微机械陀螺 固有频率 微机械
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所获资助
研究领域
张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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