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骆如枋
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
中国博士后科学基金
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合作作者
陆玉萍
中国科学院上海冶金研究所上海微...
毛平天
中国科学院上海冶金研究所上海微...
黎修祺
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陆德仁
中国科学院上海冶金研究所上海微...
黄安荣
中国科学院上海硅酸盐研究所
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陆玉萍
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:湿度传感器 I-MO FET 聚酰亚胺薄膜 聚酰亚胺
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黎修祺
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氧化铝 气体分析 排气 湿度计 硒
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毛平天
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研究主题:微量氧 微量水分 露点 露点仪 仪器
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丁青
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 氧 碳 铂 TCR
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陆德仁
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研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
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罗桂昌
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:I-MO SUB 露点 电容式 湿度传感器
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曹德福
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束混合 离子束 氧化层 高分辨率
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黄安荣
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:传感器技术 传感器 化学传感器 气体 湿度传感器
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何焕南
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气体分析 气阻 二氧化碳 CO 分离气体
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