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卓敏
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴璟
中国电子科技集团公司第五十五研...
林立强
中国电子科技集团公司第五十五研...
刘梅
中国电子科技集团公司第五十五研...
张龙
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
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相关人物
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所获资助
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林立强
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:玻璃钝化 钛酸锶钡 制成品 磁控溅射 窗孔
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所获资助
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张龙
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:钛酸锶钡 衬底 半导体硅片 半导体薄膜 高频损耗
发表作品
相关人物
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所获资助
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刘梅
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 键合工艺 阳极键合 干法刻蚀 封装方法
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