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关安民
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
核科学技术
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合作作者
李钧
中国科学院上海原子核研究所
夏冠群
中国科学院上海冶金研究所上海微...
林成鲁
中国科学院上海冶金研究所上海微...
沈鸿烈
中国科学院上海冶金研究所上海微...
蒋新元
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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李钧
供职机构:中国科学院上海原子核研究所
研究主题:离子注入机 离子源 超薄有源层 低能 掺杂
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夏冠群
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:砷化镓 GAAS MESFET 离子注入 红外探测器
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所获资助
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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沈鸿烈
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
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孙义林
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子源 离子注入 离子束 溅射 离子束辅助沉积
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蒋新元
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入机 离子源 MESFET SI 高能
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江炳尧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
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朱南昌
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:X射线双晶衍射 双晶衍射 X射线 超晶格 离子注入
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余笑寒
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:衰变 熔盐堆 熔盐 太赫兹 上海光源
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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