刘伟
- 作品数：7 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 电子束曝光数据格式的改进设计与实现被引量：2
- 2006年
- 根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC++6.0开发环境实现了EDF格式文件的图形创建、结构体引用以及文件保存,同时增加了多层图形套刻和邻近效应修正数据处理的功能。实验结果表明,改进后的电子束曝光图形文件格式可满足用户的需求,便于用户新建版图文件,同时也提高了文件传输速度及曝光的效率。
- 魏淑华刘伟李晓娜张今朝韩立
- 关键词：电子束曝光图形发生器图形文件格式套刻
- 纳米级电子束曝光系统用图形发生器技术研究
- 纳米级电子束曝光系统是微纳加工的重要设备，图形发生器是电子束曝光系统的核心部件，包括硬件和软件两部分。硬件设计吸纳了近年来数字信号处理的最新成果，利用高性能数字信号处理器（DSP）将要曝光的单元图形拆分成线条和点，然后通...
- 刘伟
- 关键词：图形发生器电子束曝光系统纳米级数字信号处理器
- 文献传递
- 纳米级电子束曝光机用图形发生器被引量：4
- 2005年
- 为满足纳米级电子束曝光系统的要求,设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度的模拟量,驱动扫描电镜的偏转器,实现电子束的扫描。通过图形发生器还可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台和激光干涉仪,还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件可以新建或导入通用格式的曝光图形,进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、临近效应修正等工作,完成曝光图形的准备。结果表明,该图形发生器能够与整个纳米级电子束曝光系统协调工作,刻画出纳米级的图形。
- 刘伟方光荣顾文琪
- 关键词：图形发生器电子束曝光机纳米
- 电子束图形扫描处理器
- 一种电子束图形扫描处理器，由接口电路[1]、复杂可编程逻辑器件[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路[4]、图像检测电路[5]和工件台位置误差检测电路[6]构成。接口电路[1]与复杂可编程逻辑器件[2]连接，数字信...
- 刘伟方光荣
- 文献传递
- USB2.0接口在图形发生器中的应用被引量：1
- 2004年
- 本文阐述了USB2 0接口在图形发生器中的应用 ,介绍了该接口的硬件技术要点 。
- 刘伟方光荣顾文琪
- 关键词：USB2.0接口图形发生器电子束曝光微电子工业微细加工DSP芯片
- 一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用被引量：2
- 2005年
- 提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制。该设计已在电工所的科研项目“纳米级电子束曝光系统”中得到应用,被称之为EDF数据格式。
- 李晓娜张今朝刘伟孙红三韩立
- 关键词：电子束曝光机数据格式转换
- CPLD在USB2.0接口中的应用被引量：1
- 2004年
- 文章阐述了复杂可编程逻辑器件(CPLD)在USB2.0接口中的应用,介绍了该接口的硬件技术要点,详细说明了CPLD的工作机理。
- 刘伟方光荣顾文琪
- 关键词：CPLDUSB2.0复杂可编程逻辑器件通用串行总线
