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王海珍
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国空空导弹研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐淑丽
中国航空工业集团公司中国空空导...
何英杰
中国空空导弹研究院
刘虹波
中国空空导弹研究院
陈程远
中国空空导弹研究院
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王海珍
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刘虹波
1篇
徐淑丽
1篇
何英杰
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2篇
红外与激光工...
年份
2篇
2007
共
2
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混成式InSb焦平面器件的湿法倒角技术研究
被引量:3
2007年
针对焦平面器件在抛光过程中出现的崩边和深划伤问题,通过分析采用了湿法倒角工艺,并进行了倒角可行性试验、倒角对电极的影响和对电路连通性的影响等实验。结果表明,用湿法倒角技术不仅使InSb边缘没有尖锐的角,并且对器件的电性能没有影响,抛光后可得到高光洁的表面,最终得到性能良好的焦平面器件。
徐淑丽
王海珍
关键词:
INSB
焦平面器件
聚酰亚胺涂料在微细加工中的应用
2007年
阐述了聚酰亚胺涂料不同与常规材料的物理及化学特性,并利用其独特的性质将其应用在红外焦平面器件中的铟柱制备及微型金属杜瓦瓶用薄膜电缆制作中,通过实验解决了工艺中的难题,取得很好的效果.
王海珍
陈程远
何英杰
刘虹波
关键词:
亚胺化
焦平面器件
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