韩志国
- 作品数：117 被引量：59H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 基于二氧化硅的微米级线距样片制备被引量：2
- 2018年
- 设计了微米级线距样片的图形结构和制作工艺流程,制作了周期尺寸为(1～10)μm的线距样片。以周期尺寸为1μm和10μm的样片为例对样片的直线度、均匀性和稳定性等质量参数进行了考核。结果表明,研制的线距样片尺寸与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的标准样片进行了结果对比,本文研制的线距样片与VLSI的标准样片质量相当。
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- 关键词：直线度均匀性稳定性
- 纳米尺寸的线距标准样片及其制备方法
- 本发明涉及半导体技术领域，具体公开一种纳米尺寸的线距标准样片，包括基板和设置于所述基板上的光栅图形区，还包括位于所述光栅图形区外的三级光栅循迹标志，通过三级循迹标志可以快速准确找到光栅有效区域，解决现有标准样片无法快速找...
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- 文献传递
- AFM探针测量方法、装置、控制设备及存储介质
- 本发明提供一种AFM探针测量方法、装置、控制设备及存储介质。该方法包括：利用AFM探针扫描待测线条，得到待测线条的待测曲线；以待测曲线的顶点为中心，确定待测线条的左侧待测曲线和右侧待测曲线；以AFM的横向分辨率为步进，分...
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- 文献传递
- 基于蒙特卡洛法的砝码校准不确定度评定被引量：9
- 2013年
- 当采用不确定度传播律进行测量不确定度评定(GUM)感到困难或不方便时,蒙特卡洛法是实用的替代方法。在GUM建立数学模型、设定输入量概率密度函数的基础上,通过对概率分布随机采样进行分布传递,确定输出量的概率密度函数,从而得到输出量的估计值、标准不确定度以及在指定包含概率下的包含区间,实现对测量不确定度的评定。通过砝码折算质量偏差测量不确定度评定实例,说明了采用蒙特卡洛法进行测量不确定度评定的实现方法,并与GUM方法和规程中的方法进行了比较。
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- 关键词：蒙特卡洛法测量不确定度评定
- 基于多层膜沉积的寻迹式线宽标准样片及其制备方法
- 本发明适用于微纳米测量仪器计量技术领域，提供了一种基于多层膜沉积的寻迹式线宽标准样片及其制备方法，该寻迹式线宽标准样片包括：依次设置的第一衬底样片、多层介质层和第二衬底样片；第一衬底样片的第一面上设置多个第一凹槽，每个第...
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- 文献传递
- 图像拼接技术在台阶高度样块评定中的应用被引量：1
- 2017年
- 研究了目前国际上通用的图像拼接技术,针对白光干涉方法测量台阶高度样块图像视场区域小的问题,提出了一种使用台阶边缘作为匹配点、基于三维点集的台阶样块图像拼接方案,实现了台阶样块图像三维自动拼接,满足了按照国际通用的单线评价法对台阶高度进行评定的要求。使用美国VLSI公司的有证台阶高度标准样块对软件拼接准确度进行了验证。验证结果表明,最大差值为1.3 nm,偏差在VLSI给出的测量不确定度范围之内,显示出该图像拼接技术的有效性和高准确度。
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- 关键词：图像拼接匹配点
- 基于蒙特卡洛法的常用玻璃量器容量测量结果不确定度评定被引量：4
- 2013年
- 采用蒙特卡洛方法 (MCM)对常用玻璃量器容量测量结果的不确定度进行评定,建立了数学模型,分析了各不确定度分量,编写了评定程序,并将评定实例结果与GUM方法评定的结果进行了比较。
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- 关键词：常用玻璃量器测量不确定度
- 用热反射热成像技术测量封装GaN/AlGaN HEMT芯片热阻
- 2022年
- 为解决封装GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的芯片热阻难以测量的问题,提出了采用热反射热成像测温装置测量芯片热阻的方法。采用365 nm波长紫外发光二极管(LED)作为测温装置的光源测量芯片沟道区域GaN材料的温度,以近似峰值结温;采用530 nm波长可见光LED作为光源测量芯片底面金属的温度。测温过程中,采用图像配准技术和自动重聚焦技术调整由于热膨胀引起的位置偏移和离焦。对芯片底面金属测温结果进行了误差分析。最后,在4个加热功率下测量了芯片热阻,测量结果显示芯片热阻与总热阻之比超过52%。
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- 关键词：热反射结温热阻
- 在片负载牵引测量不确定度分析及验证
- 负载牵引是通过调配被测器件的源端或负载端阻抗，使用功率测量的方法得到其大信号参数(功率、附加效率、增益等)性能变化的测量技术，是功率器件设计和状态监视所使用的最重要的测量系统。本文对在片负载牵引测量系统的残余校准不确定度...
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- 关键词：校准技术
- 文献传递
- 格栅标准样片测量方法、装置及终端设备
- 本发明提供了一种格栅标准样片测量方法、装置及终端设备，该方法包括：基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；获取多个样片区域的多个扫描图像，并对多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，多个扫描...
- 张晓东梁法国李锁印韩志国赵琳冯亚南许晓青
