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张世荣

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇敏感元件
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇感器
  • 1篇高温压力传感...
  • 1篇硅
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 1篇文彬
  • 1篇崔光浩
  • 1篇张世荣

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...

年份

  • 1篇2001
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排序方式：
双膜片的硅—蓝宝石高温压力传感器被引量：6
2001年
介绍了用硅一蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器，并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度。３５０℃下测得传感器的准确度为 ０．１％。
张世荣文彬崔光浩
关键词：高温压力传感器敏感元件
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共1页<1>
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