黄树森
- 作品数：7 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- MEMS传感器性能提高相关技术研究被引量：7
- 2003年
- 在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
- 黄树森李昕欣王跃林鲍敏杭
- 关键词：微电子机械系统微传感器微执行器微机械技术
- 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化
- 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工...
- 黄树森郭南翔黄晖宋朝辉李欣昕王跃林
- 关键词：加速度传感器结构优化振动频率深反应离子刻蚀
- 文献传递
- 一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器
- 该论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试.该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频率.论文的第一章对微电子机械系统及其器件设计、制造技术和应用等发展状况进行了综述,重点综述了微机械加...
- 黄树森
- 关键词：微机械技术压阻式加速度传感器灵敏度谐振频率
- 文献传递
- 一种新结构硅微机械压阻加速度计被引量：13
- 2005年
- 设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
- 陈雪萌李昕欣宋朝晖王跃林黄晖黄树森张鲲
- 关键词：微机械加速度计压阻深反应离子刻蚀
- 单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法
- 本发明涉及一种单片集成直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法。其特征在于：二个直拉直压微梁对称地位于弯曲主悬臂梁的两边，使得微梁只有X方向的直拉直压变形，微梁的自由端与质量块相连；硼扩散的微梁本身作为压阻敏感电阻；硅...
- 李昕欣黄树森王跃林
- 文献传递
- 一种硅微加速度传感器及制作方法
- 本发明涉及一种硅微加速度传感器及制作方法，更确切地说涉及一种单片集成直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法。其特征在于：二个直拉直压微梁对称地位于弯曲主悬臂梁的两边，使得微梁只有X方向的直拉直压变形，微梁的自由端与质...
- 李昕欣黄树森王跃林
- 文献传递
- 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化被引量：6
- 2003年
- 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)
- 黄树森郭南翔黄晖宋朝辉李欣昕王跃林
- 关键词：微机械压阻式加速度传感器离子刻蚀振动频率
