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胡慧
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1
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中科院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
刘正新
中科院上海微系统与信息技术研究...
孟凡英
中科院上海微系统与信息技术研究...
石建华
中科院上海微系统与信息技术研究...
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2012
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工作气压对反应等离子体沉积氧化铟锡(ITO)薄膜性能的影响
石建华
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刘正新
陆中丹
崔艳峰
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