孙晓光
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电气工程更多>>
- 千分尺、指示表示值误差测量结果不确定度中的数学模型
- 2012年
- 0引言数学模型是测量结果不确定度评定的前提。同样的被测对象,采用不同的测量方法,其数学模型是不相同的。不同的数学模型,不确定度的评定结果显然是不一样的。如果数学模型错了,不确定度的评定结果肯定错误。千分尺、指示表（百分表、千分表）以及通用卡尺是几何量测量和机械制造业中应用极广的量具，俗称长度“三大件”。
- 孙晓光
- 关键词：测量结果不确定度数学模型千分尺指示表示值误差几何量测量
- 绝缘油介电强度测试仪校准方法被引量：2
- 2014年
- 通过分析绝缘油介电强度测试仪的工作原理，针对常规校准中存在的问题，设计一套中间接地的双电容分压器矢量信号测量装置，可对0～100 kV的准确度为2％以下的绝缘油介电强度测试仪进行校准。解决油杯阻抗匹配问题，满足对于测试仪矢量输出量值的准确溯源。
- 张乐潘洋孙晓光
- 关键词：绝缘油介电强度测试仪
- 基于小波包络提取法的白光干涉测量系统被引量：4
- 2015年
- 为实现对微纳尺寸器件的非接触、无损伤的场式测量,基于纳米测量机(NMM)搭建了白光干涉测头。对测量系统的横向、纵向测量范围及分辨率进行了研究。测量系统集成了Michelson显微干涉物镜,并通过NMM的高精度定位平台带动被测样品进行垂直扫描,使用CCD相机采集干涉图像,小波包络提取法提取干涉信号包络,定位相干峰位置以获取被测样品表面形貌。实验分别测试了44 nm的纳米级台阶及10μm的微米级台阶,同时测试墨盒薄膜上数字‘232’以验证系统测量微纳器件的能力。结果表明搭建的白光干涉系统结合小波包络提取法能够用于微纳尺寸器件高精度、快速的测量。
- 简黎雷李华李东升孙晓光蔡潇雨李源
- 关键词：纳米测量机
