于浩
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 高掺铒硅基氧化钽脊形光波导被引量：1
- 2017年
- 首次提出了采用Er-Ta共溅、高温退火的方法,在硅基二氧化硅表面制备高掺铒氧化钽(Er:Ta_2O_5)薄膜。利用棱镜耦合仪分析了铒掺杂浓度对Er:Ta_2O_5薄膜的折射率的影响,结果表明:Er:Ta_2O_5薄膜的折射率随着Er掺杂浓度的增加而略微降低,且所制备的薄膜没有明显的各向异性。在此基础上,成功制备出Er掺杂浓度分别为0、2.5、5、7.5 mol%的硅基Er:Ta_2O_5脊形波导,波导在1 550 nm波段可实现单模传输,通过截断法得到波导在1 600 nm波长处的传输损耗分别为0.6、1.1、2.5、5.0 d B/cm。在所制备的Er:Ta_2O_5薄膜中,尽管没有发现Er_2O_3结晶析出,但薄膜中的Er3+会影响Ta_2O_5晶体的结晶程度,进而增加波导的传输损耗。最终文中制备的掺杂浓度为2.5 mol%的硅基Er:Ta_2O_5脊形波导通过980 nm激光泵浦,在1 531 nm信号波长下达到了3.1 d B/cm的净增益。
- 陈朝夕温浩康于浩李彬胡军郭天娥马小玲华平壤
- 关键词：集成光学铒掺杂脊形波导
