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丛慧
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张小水
河南汉威电子股份有限公司
穆仁
吉林大学电子科学与工程学院集成...
杨卉
吉林大学电子科学与工程学院集成...
马晓康
吉林大学电子科学与工程学院集成...
范会涛
吉林大学电子科学与工程学院集成...
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作者
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张彤
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范会涛
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杨卉
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穆仁
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张小水
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丛慧
传媒
1篇
传感技术学报
年份
1篇
2011
共
1
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微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究
被引量:3
2011年
基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上,确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性。该方法可进一步推广应用到其他微结构或者MEMS器件的表面温度的测量。
马晓康
丛慧
穆仁
范会涛
杨卉
祈明锋
张小水
张彤
关键词:
非接触测温
热辐射
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