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杨艳娟

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 3篇电极
  • 3篇图案化
  • 2篇氧化镍
  • 2篇树脂
  • 2篇热解碳
  • 2篇微电极
  • 2篇抗蚀
  • 2篇抗蚀性
  • 2篇感光
  • 2篇感光树脂
  • 1篇电导
  • 1篇电导性
  • 1篇一体化
  • 1篇湿法加工
  • 1篇碳-碳
  • 1篇紫外光刻
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工工艺
  • 1篇卡槽
  • 1篇光刻

机构

  • 4篇武汉理工大学

作者

  • 4篇麦立强
  • 4篇何亮
  • 4篇杨艳娟
  • 1篇王云飞

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2016
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
微图案化碳-碳纳米管复合材料电极微加工工艺及应用
本发明提供了一种微图案化碳‑碳纳米管复合材料电极微加工工艺，包括以下步骤：(1)对碳纳米管进行表面改性制得光刻胶‑碳纳米管复合材料；(2)对光刻胶‑碳纳米管复合材料进行紫外光刻等半导体微加工工艺，制得微图案化光刻胶‑碳纳...
何亮杨艳娟麦立强
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一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺
本发明公开了一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤：1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶‑氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化：将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于电极基板上...
何亮杨艳娟麦立强
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一种用于微纳器件湿法加工的铁氟龙装置及处理工艺
本发明涉及一种用于微纳器件湿法加工的铁氟龙装置，包含一体化握杆、样品台、滑杆，所述握杆的中央设置有移动滑杆所需的轨道，所述样品台上设置有样品的卡槽，所述滑杆的上端设置有卡槽。本发明可以很方便的固定样品和进行操作，适用于各...
何亮杨艳娟麦立强王云飞王成致
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一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺
本发明公开了一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤：1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶?氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化：将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于电极基板上...
何亮杨艳娟麦立强
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