秦春
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 光热微驱动机构动态响应特性的理论与实验研究
- 2017年
- 理论和实验研究了脉冲激光照射下光热微驱动机构的动态响应特性,建立了微膨胀臂的光热温升及光热膨胀的动态模型,导出了动态光热膨胀伸长量及振幅的计算公式,并通过Matlab仿真得到它们与激光脉冲频率之间的理论关系曲线。设计与微加工制作了一种总长为700μm的非对称型光热微驱动机构(A-OTMA),在功率为2 mW、频率为2~18Hz可调的脉冲激光照射控制下开展了动态光热驱动实验。采用显微视频成像系统及运动测量软件,对A-OTMA光热微驱动过程进行了实时监测和测量。实验结果表明,A-OTMA能够以与激光脉冲相同的频率实现周期性偏转运动,光热偏转量及振幅随激光脉冲频率的增大而减小,其变化趋势与理论曲线吻合,获得的最大偏转量振幅为14.9μm(2 Hz时),最大响应频率至少达到18Hz。本文的动态响应特性的理论和实验研究,为OTMA在微光机电系统(MOEMS)及微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础。
- 尤清扬王英达秦春章海军
