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闽秋应
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供职机构:
江西师范大学物理与通信电子学院
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相关领域:
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合作作者
柯强
江西师范大学物理与通信电子学院
吕珂
华东交通大学基础科学学院应用物...
叶志清
江西师范大学物理与通信电子学院
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2006
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脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性研究
2006年
采用脉冲激光,在Si(001)衬底上生长ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和光致发光光谱(PL)等测试手段研究了不同衬底温度所生长的ZnO薄膜结构特征和光学性能。研究表明:衬底温度影响ZnO薄膜结构和光学性能。在500℃~600℃沉积范围内随着温度升高,ZnO薄膜结构和光学性能提高。
柯强
吕珂
叶志清
闽秋应
关键词:
ZNO薄膜
脉冲激光沉积
光致发光光谱
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