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马建智

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：河南质量工程职业学院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇三氯
  • 1篇三氯硅烷
  • 1篇歧化
  • 1篇烷氧基硅烷
  • 1篇氯硅烷
  • 1篇硅烷
  • 1篇二氯硅烷

机构

  • 1篇河南质量工程...

作者

  • 1篇卢培浩
  • 1篇马建智

传媒

  • 1篇广东化工

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
歧化法制备单硅烷的工艺进展被引量：7
2010年
单硅烷(SiH4)作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物,因其高纯度和能够实现精细控制而成为至今为止世界唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产物。SiH4的工业合成方法包括硅化镁法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷还原法等,重点介绍了用歧化法制备SiH4的工艺,原料可用芳基硅烷、烷氧基硅烷以及氯硅烷等。
卢培浩马建智
关键词：烷氧基硅烷三氯硅烷二氯硅烷
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