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徐楚平

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：深圳信息职业技术学院电子通信技术系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇可调
  • 1篇键合
  • 1篇键合质量
  • 1篇反射镜
  • 1篇DBR
  • 1篇布拉格反射镜

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇深圳信息职业...

作者

  • 1篇陈良惠
  • 1篇郑婉华
  • 1篇王瑞春
  • 1篇何国荣
  • 1篇徐楚平

传媒

  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光路可调的红外透射方法检测键合质量被引量：1
2010年
基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统。利用该系统可以很好的实现GaAs,InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以GaAs基分布布拉格反射镜(DBR)和InP基有源区键合为例,结合红外透视图像和薄膜转移照片分析,对键合表面处理方法进行了优化选择。试验表明该检测系统数据可靠,使用方便,为晶片键合条件及参数优化提供了实用平台。
何国荣王瑞春徐楚平郑婉华陈良惠
关键词：键合
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共1页<1>
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