李慧慧
- 作品数：11 被引量：0H指数：0
- 供职机构：华侨大学更多>>
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- 相关领域：理学自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
- 一种直线划擦实验设备
- 本实用新型公开了一种直线划擦实验设备，包括光学平板、支撑系统、Y轴方向进给装置、试样夹具、工具头、力传感器、Z轴设定器、Z轴设定器夹具、X轴方向进给装置、声发射传感器、测力系统和声发射系统。本实用新型所公开的直线划擦实验...
- 王宁昌李慧慧姜峰言兰
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- 一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置
- 本实用新型公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置，包括检测台、用于传送PDC的传送装置、用于将PDC转移的吸附移位装置以及用于检测PDC表面的视觉检测装置，检测台上划分有旋转检测区和上端面检测区，传送装置、吸附移...
- 郭桦刘鹏飞李慧慧陈琛
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- 一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法
- 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法，在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层，非加工面与加工面相互平行且呈背向设置，非加工面为光滑无损表面；再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作，并在每一道减薄加工操作之前...
- 黄辉崔长彩廖信江李慧慧
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- 一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置
- 本发明公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷自动检测装置，包括检测台、用于传送PDC的传送装置、用于将PDC转移的吸附移位装置以及用于检测PDC表面的视觉检测装置，检测台上划分有旋转检测区和上端面检测区，传送装置、吸附移位装...
- 郭桦刘鹏飞李慧慧陈琛
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- 一种聚晶金刚石复合片表面缺陷分类识别方法
- 本发明公开了一种聚晶金刚石复合片表面缺陷分类识别方法，本发明解决了人工检测主观性强、效率低、分类结果的精确性和可靠性无法保障等问题，可实现聚晶金刚石复合片表面裂纹、白点、白边三种缺陷高效率、高精度、自动化的分类识别。
- 李慧慧郭桦崔长彩陈琛
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- 基于穆勒矩阵椭偏光谱的碳化硅衬底加工损伤层无损表征方法研究
- 碳化硅单晶衬底作为宽禁带半导体材料处于半导体产业链的前端,是制造器件的核心关键材料,在光电器件、功率器件和射频器件等领域具有明显应用优势。合格的衬底需要经历磨抛等多个加工阶段达到超光滑、无表面和亚表面损伤的质量,以满足制...
- 李慧慧
- 关键词：碳化硅衬底亚表面损伤层椭偏光谱光学特性
- 聚晶金刚石复合片表面裂纹视觉检测技术研究
- 2017年
- 采用计算机视觉检测技术提取出表面缺陷特征量,完成聚晶金刚石复合片表面裂纹缺陷检测。首先,根据聚晶金刚石复合片表面特性,研究合适的光源照明系统。然后,提出一种基于直方图投影梯度极值的局部边界提取方法,将感兴趣区域进行提取。在此基础上,采用图像滤波、阈值分割的方法实现裂纹的准确提取。最后,通过计算裂纹连通域的圆形度和长宽比进行裂纹识别。实验结果表明,本方法可有效地对聚晶金刚石复合片表面裂纹缺陷进行检测。
- 李慧慧郭桦郭桦黄莹祥
- 关键词：聚晶金刚石复合片视觉检测
- 基于椭偏仪的玻璃应力无损表征
- 椭偏仪是利用偏振光测量薄膜或界面参量的仪器，它通过测量被测样品反射或透射光线偏振状态的变化未获得样品参量。由于其无损非接触、相位测量精度高等优点，近年来被越来越多的运用到材料特性及损伤的表征。
- 余家华崔长彩杨栖凤李慧慧
- 关键词：椭偏仪应力
- 于椭偏仪的玻璃应力无损表征
- 椭偏仪是利用偏振光测量薄膜或界面参量的仪器，它通过测量被测样品反射或透射光线偏振状态的变化未获得样品参量。由于其无损非接触、相位测量精度高等优点，近年来被越来越多的运用到材料特性及损伤的表征。
- 余家华崔长彩杨栖凤李慧慧
- 关键词：椭偏仪应力
- 一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法
- 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法，在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层，非加工面与加工面相互平行且呈背向设置，非加工面为光滑无损表面；再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作，并在每一道减薄加工操作之前...
- 黄辉崔长彩廖信江李慧慧
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