程念
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：北京化工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 升温速率对烧结ITO靶材密度和组织的影响被引量：4
- 2013年
- 采用化学共沉淀法制备ITO粉体前驱物,在600℃煅烧粉体前驱物4h,得到粒径为20~30nm的ITO粉体。添加1%的聚乙烯醇（PVA）造粒,模压成型制备ITO靶材素坯,设置不同的升温速率,在1550℃氧气氛下烧结素坯,得到ITO靶材。研究了烧结过程升温速率对ITO靶材密度和微观组织的影响。结果表明,在低温阶段（0~500℃）升温速率为3℃/min,高温阶段（500~1550℃）升温速率为8℃/min时,ITO靶材相对密度为99.58%,孔洞极少,近乎完全致密,且靶材宏观上无裂纹。
- 程念刘家祥
- 关键词：ITO靶材升温速率烧结法相对密度微观结构
