张建国
- 作品数：2 被引量：11H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：10
- 2017年
- 结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,阐述了曝光系统设计、光学元件被动支撑、位姿调节、主动变形、元件更换和系统数值孔径调节等物镜光机系统关键技术研究现状,提炼了阻碍物镜未来发展的关键科学技术问题.目前,193nm光刻物镜尚需进一步阐明高阶热像差的产生机理和校正策略,解决多自由度位姿标定问题,形成完备的物镜研制方法,指导高成像质量物镜的制造.
- 张德福李显凌芮大为李朋志东立剑张建国
- 关键词：光刻投影物镜波像差主动光学
- 基于微PCD刀具的微结构成型制造与应用被引量：1
- 2016年
- 本文提出一种基于微聚晶金刚石(PCD)刀具的微结构快速车削成型制造方法.首先利用电火花线切割加工(WEDM)放电蚀除技术实现了微PCD刀具的精密切割成型制造.在WEDM过程中对线切割丝的运动轨迹、电火花加工间隙及加工能量进行了研究分析以提高微切削刀具的制造精度.随后将微PCD刀具安装到精密车削系统,通过铝合金的微车削实验验证了本文所提出的微结构快速成型制造方法的可行性.最后对微刀具的磨损形态进行了实验分析.在微车削过程中,刀具切削刃无明显磨损和破坏,而工件材料粘结于刀具前刀面是造成微结构加工精度降低的主要因素.本文所提出的微细制造技术有望成为微结构快速、大批量生产的潜在工业应用.
- 陈颖张建国张德福
- 关键词：微结构电火花线切割加工
