沙晟春
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程更多>>
- 氮气流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响被引量：1
- 2008年
- 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。以N2为载气,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构。结果表明,在不同的N2流量下制备的CIGS薄膜,均具有单一的黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向。当Ar流量为0.40m3/h时,薄膜表面结构致密,晶粒大小均匀,并且Cu、In、Ga原子含量,处于制备弱p型CIGS薄膜的理想范围。
- 韩东麟张弓庄大明沙晟春元金石
- 关键词：太阳能电池CIGS磁控溅射
