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王洋洋

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇亚氯酸钠
  • 2篇蚀刻
  • 2篇蚀刻液
  • 2篇碳酸氢铵
  • 2篇微机电系统
  • 2篇氯酸
  • 2篇氯酸钠
  • 2篇机电系统
  • 2篇铜
  • 2篇电系统

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇董艳
  • 2篇王逸群
  • 2篇王洋洋

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
铜蚀刻液及其制备方法和应用、铜蚀刻方法
本发明公开了一种铜蚀刻液及其制备方法，所述铜蚀刻液是含有质量浓度10g/L～15g/L的亚氯酸钠、质量浓度50g/L～70g/L的碳酸氢铵和体积浓度10mL/L～60mL/L的氨水的水溶液；该铜蚀刻液的制备方法包括步骤：...
董艳王逸群王洋洋冯海通
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铜蚀刻液及其制备方法和应用、铜蚀刻方法
本发明公开了一种铜蚀刻液及其制备方法，所述铜蚀刻液是含有质量浓度10g/L～15g/L的亚氯酸钠、质量浓度50g/L～70g/L的碳酸氢铵和体积浓度10mL/L～60mL/L的氨水的水溶液；该铜蚀刻液的制备方法包括步骤：...
董艳王逸群王洋洋冯海通
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