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王贝贝
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
上海理工大学材料科学与工程学院
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发文基金:
上海市教育委员会重点学科基金
上海市自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
李伟
上海理工大学材料科学与工程学院
何代华
上海理工大学材料科学与工程学院
马凤仓
上海理工大学材料科学与工程学院
陈小红
上海理工大学材料科学与工程学院
刘平
上海理工大学材料科学与工程学院
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涂层
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1篇
力学性
机构
1篇
上海理工大学
作者
1篇
赵永生
1篇
刘新宽
1篇
刘平
1篇
陈小红
1篇
马凤仓
1篇
何代华
1篇
王贝贝
1篇
李伟
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1篇
上海有色金属
年份
1篇
2014
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Si含量对TiAlSiN纳米复合涂层的微观结构和力学性能的影响
被引量:8
2014年
采用不同Si含量的TiAlSi复合靶,在Si基底片上用射频磁控溅射工艺沉积了TiAlSiN纳米复合涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕技术研究了Si含量对TiAlSiN涂层的微观结构和力学性能的影响.结果表明:TiAlSiN涂层内部形成了Si3N4界面相包裹TiAlN纳米等轴晶粒的纳米复合结构.随着Si含量的增加,TiAlSiN涂层的结晶程度先增加后降低,涂层内部的晶粒尺寸先减小后趋于平稳,涂层的力学性能先升高后降低.当Si与TiAl原子比为3∶22时获得的最高硬度和弹性模量分别为37.1GPa和357.3 GPa.
李伟
赵永生
刘平
马凤仓
刘新宽
陈小红
何代华
王贝贝
康祎炜
关键词:
SI含量
微观结构
力学性能
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