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田晓丽

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：四川大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇热氧化
  • 1篇界面态
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱研究
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇红外光谱研究
  • 1篇SIC
  • 1篇SIO
  • 1篇6H-SIC

机构

  • 1篇四川大学

作者

  • 1篇龚敏
  • 1篇石瑞英
  • 1篇曹群
  • 1篇田晓丽

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiC热氧化SiO_2的红外光谱研究被引量：3
2009年
SiC热氧化时由于C元素的存在及其诱生的空位型缺陷,影响SiO2层的质量、SiO2/SiC界面及SiC MOS器件的击穿特性。采用红外光谱技术研究了6H-SiC上热氧化生长的SiO2层,分析和讨论了SiO2氧化层及界面态的红外反射特征峰,对偏振入射光与SiO2振动模的相互作用进行了分析。对C元素的红外光谱学表征进行了初步研究,从而为工艺中对SiO2层中C元素的实时检测和进一步改善SiC MOS器件电学特性的研究打下基础。
田晓丽龚敏曹群石瑞英
关键词：6H-SIC界面态
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共1页<1>
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