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周旭

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：安徽大学物理与材料科学学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇微结构
  • 1篇膜厚
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇安徽大学

作者

  • 1篇孙兆奇
  • 1篇宋学萍
  • 1篇周旭

传媒

  • 1篇合肥工业大学...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和应力特性被引量：3
2007年
用JGP560I型超高真空多功能磁控溅射仪在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。采用X-Ray衍射仪和电子薄膜应力分布测试仪等对其微结构和应力进行了测试分析。研究结果表明,ZnO薄膜具有良好的c轴择优取向;随着薄膜厚度的增加,薄膜中的平均应力减少;膜厚为744 nm时平均应力、应力差均最小,分别为5.973×108Pa、6.159×108Pa,应力分布较均匀。
宋学萍周旭孙兆奇
关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射膜厚微结构
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共1页<1>
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