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徐铭

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇介电
  • 1篇TI
  • 1篇TI5SI3
  • 1篇BST
  • 1篇BST薄膜

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇韩高荣
  • 1篇翁文剑
  • 1篇任招娣
  • 1篇沈鸽
  • 1篇杜丕一
  • 1篇徐铭

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ti_5Si_3电极层表面沉积BST薄膜及其介电性能研究
2008年
使用溶胶-凝胶法在涂覆有Ti_5Si_3电极层的玻璃基板上成功制备了Ba/Sr为6∶4的BST薄膜,并对该薄膜在600℃进行了热处理。使用XRD,阻抗分析仪对薄膜进行了测试,研究了不同热处理条件对薄膜介电性能的影响。结果表明,由于非氧化物Ti_5Si_3电极层中氧空位等缺陷含量少,因此可成功制备缺陷少,质量良好的BST薄膜。快速升温可得到的薄膜晶相含量较多,多次重复热处理使薄膜中晶相的缺陷相对较少;控制薄膜的热处理条件,可以控制薄膜的电容和损耗。
任招娣杜丕一徐铭翁文剑韩高荣沈鸽
关键词：溶胶-凝胶BSTTI5SI3
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