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李堂艳
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华南理工大学电子与信息学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘超
华南理工大学电子与信息学院
吴丽明
湄洲湾职业技术学院
虞佳乐
华南理工大学电子与信息学院
王智欣
华南理工大学电子与信息学院
刘玉荣
华南理工大学电子与信息学院
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作者
1篇
刘玉荣
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王智欣
1篇
虞佳乐
1篇
吴丽明
1篇
刘超
1篇
李堂艳
传媒
1篇
半导体光电
年份
1篇
2009
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聚合物薄膜晶体管的制备及性能
被引量:1
2009年
以硅材料衬底作栅电极,在衬底上依次制备二氧化硅栅介质层、聚合物MEH-PPV薄膜半导体层和金源、漏电极,成功地得到了聚合物薄膜晶体管。器件的制备和测试都是在空气环境中完成。该薄膜晶体管呈现出较好的场效应晶体管饱和特性,器件的载流子迁移率为5.0×10-5cm2/(V.s),开关电流比大于2×103。通过在氮气氛下对聚合物薄膜进行退火处理以及聚合物薄膜沉膜前对二氧化硅表面修饰可以适当地提高器件的载流子迁移率。
刘玉荣
吴丽明
虞佳乐
王智欣
刘超
李堂艳
关键词:
迁移率
退火处理
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