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罗群

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：昆明医学院更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 1篇昆明医学院
  • 1篇云南师范大学

作者

  • 1篇何京鸿
  • 1篇廖华
  • 1篇张树明
  • 1篇罗群

传媒

  • 1篇云南师范大学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PECVD氮化硅薄膜工艺参数研究被引量：3
2011年
根据太阳电池组件的结构和封装材料特性,设计出硅太阳电池片减反射薄膜的最佳厚度和折射率,利用泰勒公式进行优化PECVD制备氮化硅薄膜的工艺参数。通过实验,找出适合中电48所工业生产用管式PECVD制备氮化硅薄膜的工艺参数。
张树明廖华何京鸿尹云坤胡俊涛罗群
关键词：工艺参数
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