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刘庆海

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻效应
  • 1篇温度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研究
  • 1篇ME

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇黄见秋
  • 1篇刘庆海

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
表面微机械MEMS温度传感器研究被引量：9
2015年
提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 m V/℃,具有良好的稳定性。
刘庆海黄见秋
关键词：压阻效应悬臂梁温度传感器
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共1页<1>
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