陈媛
- 作品数:28 被引量:28H指数:4
- 供职机构:上海市激光技术研究所更多>>
- 发文基金:上海市科学技术委员会资助项目国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金上海市科学技术委员会科研基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于正交试验的激光标识工艺研究被引量:1
- 2022年
- 采用1060 nm光纤打标机在2024铝合金表面进行方形标识,主要研究扫描速度、填充间隔、激光平均功率等工艺参数对铝合金材料表面标识效果的影响。基于正交试验的方法,根据3因素5水平正交表设计激光加工的工艺参数,利用色差仪和超景深三维显微镜对激光标识效果的色差和表面形貌粗糙度进行测量。试验结果表明,激光标识时扫描轨迹的重叠率和光斑重叠率是影响色差的主要因素,激光标识时材料吸收激光的能量大小和热影响是影响粗糙度的主要因素。经过正交极差优化后的最佳参数组合为扫描速度V=644 mm/s,填充间隔F=0.028 mm,激光功率P=15 W,最终标识效果为表面粗糙度为1.5μm,色差为9.41 NBS。
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- 关键词:表面粗糙度色差正交试验
- 355 nm紫外激光在硅晶圆上标识二维码的工艺研究
- 2023年
- 利用紫外纳秒标识系统对硅晶圆表面进行二维码直接标识试验研究。采用控制变量法,分别研究不同的脉冲占空比、重复频率、光斑重叠率对标识材料的热损伤、表面形貌以及二维码识读效果的影响规律。研究结果表明,脉冲占空比和重复频率对标识区域的环宽和热损伤影响效果明显,二维码的读取率和识读时间同时受占空比、重复频率、光斑重叠率影响。单脉冲能量在10.7~20μJ范围内可以标识出符合SEMI标准的均匀、细腻、稳定、高识读率的无尘标识。
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- 关键词:硅晶圆热损伤
- 热塑性塑料激光打孔技术的应用研究
- 2024年
- 本文选用热塑性塑料作为激光打孔材料,通过研究紫外纳秒激光器、绿光纳秒激光器、CO_(2)连续激光器和光纤纳秒激光器4种激光器对热塑性塑料打孔质量,选定紫外纳秒激光器为优选激光器;基于此,系统研究了紫外纳秒激光器不同加工次数、扫描速度对打孔质量的影响。结果表明:加工次数对孔径和孔锥度有明显影响,扫描速度对孔径、孔锥度、孔圆度和热影响区都有明显影响。以在1 mm厚的热塑性塑料上加工0.3 mm的通孔,最佳的激光参数组合是平均功率10 W,重复频率60 kHz,零离焦量,加工次数120次、扫描速度300 mm/s。
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- 关键词:热塑性塑料激光加工通孔
- 绿光波长激光水下切割硅晶圆的方法及其装置
- 本发明涉及一种绿光波长激光水下切割硅晶圆的方法及其装置,该方法包括:将待加工硅晶圆固定在装有液体的容器中;使待加工硅晶圆与容器盖底部玻璃之间存在用于水下激光切割的光程距离;使容器内液体产生流动并保持平稳,激光透过容器盖底...
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- 基于1060 nm MOPA激光器直接标识铝合金(2024)的形貌及其机理分析被引量:1
- 2021年
- 采用1 060 nm MOPA激光器对铝合金(2024)进行标识。研究了不同功率下DM码的质量等级和对比度,使用扫描电镜(SEM)观察了标识的表面形貌,使用能谱仪分析了标识表面的成分组成。通过SEM分析,得到在DM码质量等级较高的标识表面,材料被熔化、气化、烧蚀,有大量孔洞和颗粒状物质存在,而在DM码质量等级较低的标识表面,材料仅仅被重铸,表面呈波纹状;通过EDS分析,得到在DM码质量等级较高的标识表面,材料中氧元素含量升高,说明熔化、气化的金属发生氧化反应,而在DM码质量等级较低的标识表面,材料中氧元素增加较少,说明在此条件下金属氧化反应较少。对材料的烧蚀阈值进行计算,为试验提供理论指导。
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- 关键词:MOPA形貌分析
- 一种用于西林瓶的激光打标装置
- 本实用新型提供了一种用于西林瓶的激光打标装置,包括机柜(1)、激光打标机构(2)、运动机构(3)、西林瓶传输机构(4)和西林瓶(5),所述运动机构(3)和西林瓶传输机构(4)安装在机柜(1)上,所述激光打标机构(2)安装...
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- 航空钛合金激光冲击强化与机械喷丸复合工艺强化方法
- 本发明涉及一种航空钛合金航空钛合金激光冲击强化与机械喷丸复合工艺强化方法,该方法包括:将航空钛合金材料用线切割机切割成若干方块和拉伸疲劳件;用砂纸打磨,然后用抛光剂进行抛光,使航空钛合金试验材料表面光滑;将表面处理好的一...
- 王浩陆越马永新李骏杰舒天娇陈媛李国旗王尧张玲玲夏琪张瑄珺
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置,其特征在于:它包括激光器(1)、起偏器(2)、短焦距凹透镜(3)和长焦距凸透镜(4)、液晶空间光调制器(5)、计算机(6)、短焦距凸透镜(7)、长焦距凹透镜(8)、平场聚焦透镜...
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- 晶圆激光打标装置
- 本申请涉及一种晶圆激光打标装置,包括底座、激光发射机、电动衰减器、分束镜、功率探头、振镜以及校准器。其中激光发射机安装在所述底座上,电动衰减器设置在所述激光发射机发射的激光光路上,分束镜设置在通过所述电动衰减器后的光路上...
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- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置,其特征在于:它包括激光器(1)、起偏器(2)、短焦距凹透镜(3)和长焦距凸透镜(4)、液晶空间光调制器(5)、计算机(6)、短焦距凸透镜(7)、长焦距凹透镜(8)、平场聚焦透镜...
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