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严峻
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西南交通大学信息科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
苏凤
西南交通大学信息科学与技术学院
陈向东
西南交通大学信息科学与技术学院
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机构
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西南交通大学
作者
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陈向东
1篇
苏凤
1篇
严峻
传媒
1篇
仪表技术与传...
年份
1篇
2008
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孔深孔径对多孔湿度传感器灵敏度的影响
被引量:1
2008年
湿度传感器有电阻和电容等类型,由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化。根据多孔A l2O3电容湿度传感器微观结构,建立了该器件的等效电路模型,利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔A l2O3湿度传感器性能的影响。根据孔深孔径的合理取值范围,通过仿真,找出孔高比与面积占空比的最佳值,提高了湿度传感器的灵敏度。
苏凤
陈向东
严峻
关键词:
多孔
湿度传感器
电容特性
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