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汪超男

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇微悬臂梁传感...
  • 1篇敏感型
  • 1篇感器
  • 1篇表面应力
  • 1篇掺杂
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇刘理天
  • 1篇周有铮
  • 1篇李爱玲
  • 1篇汪超男

传媒

  • 1篇清华大学学报...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟被引量：3
2009年
为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。
汪超男李爱玲周有铮王喆壵刘理天
关键词：压阻掺杂表面应力
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