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陈斌

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：三束材料改性国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇TAN

机构

  • 1篇三束材料改性...

作者

  • 1篇王敏
  • 1篇张庆瑜
  • 1篇陈斌

传媒

  • 1篇大连理工大学...

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
TaN膜的结构、成分及性能被引量：6
1995年
研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。
张庆瑜陈斌王敏朱英臣陈 遐
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