您的位置： 专家智库 > >

尹伊君

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电阻
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇电容检测
  • 2篇应力
  • 2篇热电阻
  • 2篇谐振频率
  • 2篇芯片
  • 2篇加热电阻
  • 2篇加速度
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇封装
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇低电阻
  • 1篇电极
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅材料
  • 1篇涌流
  • 1篇针尖

机构

  • 7篇中国计量大学

作者

  • 7篇尹伊君
  • 6篇韩建强
  • 4篇牛文举
  • 4篇程冰
  • 2篇张杰

年份

  • 1篇2018
  • 5篇2017
  • 1篇2016
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法。所使用靶材的组成及重量百分比为：Ni 45wt％，Cr 50wt％，Si 5wt％。溅射前对腔室抽真空至5×10<Sup>‑4</Sup>Pa以下，通入氩气，调节工作气...
韩建强尹伊君程冰牛文举
文献传递
一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法
本发明公开了一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。所述的低横向灵敏度隧道电流式加速度计由主芯片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成。其中主芯片(1)由质量块(4)、支撑梁(5)、引...
韩建强尹伊君牛文举
文献传递
一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法
本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)组成。在加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器A(3)温...
韩建强厉森程冰尹伊君
文献传递
一种湿法腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料的保护技术
本发明公开了一种湿法腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料的保护技术，腐蚀过程中芯片正面金属及多晶硅材料采用氮化硅薄膜保护。氮化硅薄膜采用平板型等离子体化学气相沉积(PECVD)设备淀积。淀积温度350～420℃，13.56...
韩建强尹伊君韩东
文献传递
一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
文献传递
谐振-力平衡电容式三轴微加速度传感器关键工艺研究
微型加速度传感器是应用最为广泛的MEMS传感器之一。三轴微加速度传感器是可以用来同时测量面内X、Y轴和垂直于芯片表面Z轴的微型加速度传感器，广泛应用于武器装备、惯性导航和汽车安全等领域，是关系国家安全和经济建设的基础元器...
尹伊君
关键词：微机电系统三轴加速度传感器氮化硅薄膜
一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0