张建锋
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 温度对高精度光学玻璃折射率均匀性检测的影响被引量：5
- 2012年
- 为了实现光学玻璃折射率均匀性的高精度(0.2×10-6)检测,测量环境温度引入的测量不确定度应小于0.05×10-6。对测量过程中温度引入的不确定度进行了详细分析,总结了温度引起的5种误差源,对各种误差源进行了不确定度分析。结果表明,当测量腔中空气、贴置板、折射率液及被测件的径向温差不超过±0.01℃时,温度引起的测量不确定度为0.031×10-6,满足精度要求。为实验室环境的改造提出了建议,并为高精度玻璃折射率均匀性测量提供了分析数据。
- 张建锋曹学东吴时彬景洪伟阴旭
- 关键词：光学检测温度
- 基于旋转法的干涉仪系统误差标定被引量：6
- 2011年
- 针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ。误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法。
- 张建锋曹学东景洪伟吴时彬阴旭
- 关键词：光学检测ZERNIKE多项式
