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白兴军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：比亚迪汽车股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇砂层
  • 1篇喷砂
  • 1篇晶圆
  • 1篇功率器件
  • 1篇封装
  • 1篇封装材料
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体元件

机构

  • 1篇比亚迪汽车股...

作者

  • 1篇刘鹏飞
  • 1篇吴海平
  • 1篇白兴军

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
晶圆的处理方法、制备半导体元件的方法及其应用
本发明公开了晶圆的处理方法、制备半导体元件的方法及其应用。根据本发明的实施例，晶圆的处理方法包括：(1)对晶圆的背面进行打磨；(2)对经过打磨的晶圆背面进行喷砂。由此，采用晶圆的处理方法在消除晶圆背面研磨损伤的同时，可以...
白兴军刘鹏飞吴海平
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