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马硕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化硅膜
  • 1篇射线
  • 1篇梁结构
  • 1篇硅膜
  • 1篇X射线
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇超薄

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇任天令
  • 1篇徐建龙
  • 1篇谢丹
  • 1篇马硕

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
三角形单晶硅支撑梁结构超薄X射线氮化硅窗口的制备
2016年
研究并实现了一种35μm宽三角形硅支撑梁X射线氮化硅膜窗口,通过对位于单晶硅片中央的氮化硅薄膜窗口进行测试,并获得了较好的性能参数:硅支撑梁部分所占面积为19.3%,氮化硅膜厚度约为50 nm,并且能够耐受一个大气压强差。本论文提出的结构与以往的MEMS工艺制备的X射线窗口相比较,更加简单、可靠,并且制备成本更低,可适用于X射线荧光分析仪和SEM的能量色散谱分析仪等设备的X射线引出窗口。
马硕谢丹徐建龙孙翊淋任天令
关键词：氮化硅膜MEMS工艺
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共1页<1>
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