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姚文军

作品数:1 被引量:6H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域:冶金工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程

主题

  • 1篇加热室
  • 1篇隔热
  • 1篇隔热层

机构

  • 1篇国防科学技术...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇陈国红
  • 1篇苏文生
  • 1篇姚文军

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
多晶硅铸锭炉加热室的设计被引量:6
2007年
加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。
陈国红王晓军姚文军苏文生
关键词:加热室隔热层
共1页<1>
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